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激光切割加工具有切割精度高、切割速度快、熱效應(yīng)低、無污染、無噪音等優(yōu)點(diǎn)，在汽車、船舶、航空航天和電子工業(yè)中都得到了廣泛的應(yīng)用。而激光切割加工質(zhì)量與激光焦點(diǎn)與工件之間的相對位置有著密切的關(guān)系，保證激光焦點(diǎn)和切割對象之間的合理的相對位置是保證激光切割加工質(zhì)量的關(guān)鍵之一。

激光聚焦的焦點(diǎn)位置無法直接測量，但可以通過間接方法檢測。對于一個(gè)激光切割加工系統(tǒng)，其焦點(diǎn)位置是由聚焦鏡的光學(xué)焦點(diǎn)決定的，所以在聚焦鏡一定情況下其位置是不變的（不考慮聚焦鏡的熱效應(yīng)），因此可以通過檢測聚焦鏡和被加工對象之間的相對位置來間接檢測焦點(diǎn)和被加工對象之間的位置關(guān)系。

激光焦點(diǎn)和被加工對象之間的相對位置可以通過電感位移傳感器和電容傳感器來檢測，在使用中各有優(yōu)缺點(diǎn)。電感傳感器的響應(yīng)頻率較低，不太適用于高速加工和像！維加工這樣需要非接觸檢測的場合；電容傳感器，具有響應(yīng)速度快，檢測精度高等優(yōu)點(diǎn)，但在使用過程中存在非線性和易受激光切割加工過程中產(chǎn)生的等離子云和噴渣的干擾的影響